機床激光干涉儀是集光、機、電、傳感技術、信息技術于一體的經典“測控技術”儀器，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器，可以直接對米進行定義，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，以及進行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等動態(tài)測量，廣泛應用于先進制造、科研院所、精密測量等領域。

　　本產品旋轉軸精度測量系統(tǒng)包含激光頭，角度干涉鏡和角度反射鏡，與平移軸傾斜誤差測量類似，只不過旋轉軸的角度反射鏡是安裝在轉臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉。

　　因此，在測量時，待測的旋轉軸向正方向旋轉某一個角度后，轉臺組件會沿著其逆方向精確地旋轉該角度，例如待測軸沿正方向旋轉15°，由于誤差的存在，則可能旋轉（15+Δ）°；此時，轉臺組件會沿著逆方向精確旋轉，即沿負方向精確旋轉15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著激光頭。而誤差Δ就是旋轉軸的定位誤差。

　　機床激光干涉儀的優(yōu)勢特點都有哪些呢？

　　1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

　?、偈褂妹绹咝阅芎つ始す馄鳎Y合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

　?、谝怨獠ㄩL(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

　?、凼褂酶咚俟怆娦盘柌蓸雍吞幚砑夹g，測量速度可達到4m/s。

　　④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

　?、莘蛛x式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

　　2. 應用范圍廣

　　①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

　?、诮Y合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

　　③機床激光干涉儀可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析

　　3.軟件界面友好

　?、偈褂卯斍盁衢T的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

　?、趯㈧o態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

　　③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。