將白光干涉測量技術(shù)應(yīng)用到3D表面輪廓儀中，可進(jìn)行納米級的測量。

中圖儀器SuperViewW1非接觸三維表面輪廓測量儀在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的時(shí)候，不會對產(chǎn)品造成損傷，同時(shí)提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。在線檢測還沒有滯后性，減少了不合格品，對便面缺陷的檢測也是如此。

產(chǎn)品功能

1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

SuperViewW1非接觸三維表面輪廓測量儀提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能。擁有多種報(bào)表形式，讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。能夠做到在線監(jiān)測、數(shù)據(jù)分析、超差報(bào)警、數(shù)據(jù)存儲等，協(xié)助監(jiān)測人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)缺陷產(chǎn)生的原因。能有效監(jiān)控相關(guān)設(shè)備的性能，實(shí)現(xiàn)表面質(zhì)量判定自動化，減少了因表面缺陷而引起的損失。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)?？梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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