激光干涉儀是高精度線(xiàn)性位移測(cè)量?jī)x器，目前市場(chǎng)上的干涉儀產(chǎn)品大多為激光干涉儀。產(chǎn)生激光的方法主要是利用塞曼效應(yīng)和聲光調(diào)制。一些產(chǎn)品激光頻差達(dá)到20MHz以上。聲光調(diào)制方法的頻率穩(wěn)定性非常好，可以利用鎖相放大器處理信號(hào)；缺點(diǎn)是穩(wěn)頻、調(diào)制、合光等環(huán)節(jié)使得光學(xué)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，調(diào)整困難，成本偏高。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀器采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用。

· 采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；

· 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；

· 采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；

· 采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；

· 采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

在機(jī)床行業(yè)，激光干涉儀是一個(gè)非常重要的工具，常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)和補(bǔ)償。