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中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，它通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。VT6000共聚焦光學(xué)測量顯微鏡技術(shù)以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。

在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，中圖共聚焦表面粗糙度測量顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)測量顯微鏡具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。

VT6000材料型轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。

VT6000系列3d形貌共聚焦光學(xué)顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。