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SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

中圖儀器激光干涉儀測量集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000中圖激光干涉儀使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。

便攜自動精密轉(zhuǎn)臺，主要特點(diǎn)：小巧便攜、功能強(qiáng)大、無線操作；回轉(zhuǎn)軸測量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。

激光干涉儀SJ6800，高精度測量、應(yīng)用廣泛、軟件功能強(qiáng)大，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)

激光干涉儀，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器，在*端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。