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SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。

SJ6000三坐標幾何誤差激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點?？梢詸z測三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000數(shù)控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng)，不僅僅局限于運動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。